04.2019

Специализированная система конфокального распыления EPOS-PVD-D-CONFOCAL

Исполнение установки предполагает возможность её дальнейшего оснащения широким спектром методов воздействия на образцы.: от охлаждения ячейками Пельтье до контролируемого нагрева до 900 0С.

Вращение образцов обеспечивает однородность плёнок лучше 3%. Контроль свойств плёнки обеспечивается кварцевыми микровесами. 

Для измерения удельного сопротивления плёнки используется четырёхзондовый метод.