Технические характеристики
Количество систем прекурсоров, шт 2
Объем контейнера прекурсора, см3 100
Размер подложки, мм до 180 
Нагрев подложки/точность поддержания температуры до 350°С/±1°С
Расстояние от источника прекурсоров до подложки от 50 до 300 мм
Предельный вакуум 1,5*10-5торр
Максимальная рабочая температура внешней поверхности вакуумной камеры не выше +40 °С
Тип плазмы ВЧ, 13,56 МГц
Индикация ЖК дисплеи, монитор компьютера
Охлаждение Воздушное
Электропитание 380 В, 50 Гц
Установленная мащность не более 9 кВт
Масса установки не более 400 кг
Габаритный размер Д*Ш*В 800*1500*1850 мм

 

 

Установка вакуумная для напыления покрытий

 Установка имеет цилиндрическую камеру, изготовленную из нержавеющей стали диаметром 320 мм, высотой 360 мм.

Спереди камеры на шарнире установлена круглая дверь, с проходным диаметром 255 мм. Дверь соединяется вакуумноплотно с камерой при помощи эластичного уплотнения. Для обеспечения визуального наблюдения за процессом напыления, на двери установлено окно из боросиликатного стекла на фланце ISO160.
На верхней поверхности камеры расположен фланец для крепления кварцевой колбы, предназначенной для ввода индуцируемой плазмы в область осаждения.
Слева и справа камеры под углом ___ к оси камеры расположены патрубки, направленные на центр подложки, предназначенные для подключения диагностического оборудования. Также слева и справа камеры расположены патрубки для ввода прекурсоров в камеру-реактор.
Сзади камеры, на фланце ISO130, установлен тройник KF40, а также фланец KF30 для подключения соответственно.
На нижней поверхности камеры установлен тройник ISO100, через который с одной стороны вводится ТЭН для нагрева подложкодержателя, а с другой подключается откачка вакуумной камеры.
Внутри камеры установлена система нагрева подложки, камера-реактор, а также система защитных экранов.

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Поля, отмеченные * — обязательны для заполнения.