Технические характеристики
Вакуумная камера
Внутренние габариты вакуумной камеры Ø*Д, мм 280*300
Прогрев камеры, °С 100
Вакуумная откачка
Тип вакуумной откачки ТМН, магниторазрядный насос
Предельный вакуум, торр 5*10-8
Электронная пушка
Максимальная энергия, кэВ 3
Максимальный ток, мА 6
Прочее
Охлаждение Водяное

Характеристики охлаждающей воды:

Расход, л/мин

Давление, изб. атм

Температура, °С

Размер механических примесей, мкм

 

 

не менее 2

не более 5

от 5 до 25

не более 50

 

Электропитание 3 фазы, 380 В±10%, 50 Гц±0,2%
Установленная мощность, кВт 2
Габаритный размер Ш*В*Д, мм 1200*1550*700
Масса установки, кг Не более 250

Климатические условия эксплуатации:

Температура окружающей среды, °С

Относительная влажность, %

Давление, мм рт.ст.

 

от +5 до +40

от 5 до 85

от 650 до 800

 

Установка для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии и работы выхода электронов

 Вакуумная камера, изготовлена из нержавеющей стали 12Х18Н10Т в виде цилиндра с внутренним диаметром и глубиной 280 и 300 мм соответственно. Вакуумная камера оснащена дверью на шарнирах. Вакуумное уплотнение двери с камерой выполнено при помощи FPM эластомера (витонового шнура) двумя кольцами с откачиваемой полостью между ними (дифференциальной откачкой) для уменьшения натекания. Для защиты уплотнения от перегрева выполнено водяное охлаждение двери. Для улучшения предельного вакуума предусмотрена возможность прогрева камеры до температуры 100 0С. Для визуализации процесса на вакуумной камере на фланце CF35 установлено смотровое окно. На задней торцевой поверхности вакуумной камеры располагается посадочный фланец CF63 для установки электронно-лучевого оборудования. Для подключения вакуумной откачки на правой поверхности камеры установлен тройник CF100. На тройник установлен высоковакуумный шиберный затвор ДУ100 с ручным управлением, на который далее устанавливается турбомолекулярный насос. Также к тройнику подключен магниторазрядный насос. Для измерения давления в вакуумной камере на тройник установлен широкодиапазонный датчик измерения давления фирмы «Thyracont Vacuum Instruments GmbH», модель VSM79DL. Клапан напуска (с ручным управлением) атмосферного воздуха также установлен на тройник. В вакуумной камере размещено оборудование для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии и работы выхода электронов.

Для создания сфокусированного пучка электронов необходимой энергии и интенсивности используется термокатодная пушка, состоящая из катодного узла, блока формирования и тракта пучка.

Катодный узел состоит из катода (рис. 3 поз. 1) (эмитирующего электрода) из вольфрамовой проволоки. Катод создает поток электронов, которые исходят с его нагретой поверхности вследствие термоэлектронной эмиссии. Нагрев катода осуществляется за счет прямого нагрева электрическим током. Рабочая температура вольфрамового катода около 1800 0С. Регулировка тока эмиссии происходит за счет изменения потенциала на запирающем (регулирующем) электроде (рис. 3 поз. 2) в диапазоне от 0 до 3 кВ относительно земли и за счет изменения тока накала. Катодный узел находится под отрицательным потенциалом относительно земли. Ускоряющий потенциал создается источником питания собственной разработки с регулируемым напряжением до -3 кВ и током до 6 мА.

Блок формирования пучка представляет собой систему точно юстированных электродов, формирующих электронно-оптическую систему. Электронно-оптическая система включает в себя катодный узел и анод (ускоряющий электрод) (рис. 3 поз. 3). Анод заземлен. Коммутационные подключения выполнены высоковольтным кабелем.

Тракт пучка электронов состоит из электростатической линзы (рис. 3 поз. 4), состоящих из трех электродов – 2 крайних заземлены, средний находится под потенциалом до 2 кВ относительно земли (2/3 от ускоряющего потенциала).

В конструкции крепления электронной пушки к камере предусмотрены юстировочные винты, при помощи которых возможно направить электронный пучок строго в центр мишени.

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Поля, отмеченные * — обязательны для заполнения.