Технические характеристики
Внутренние габариты вакуумной камеры, мм 1080*1080*1080
Количество дверей на направляющих, шт 1
Тип манипулятора Трехкоординатный, прецизионный
Габариты манипулятора с учётом крайних положений стола, мм 800*800*800
Размер стола, мм 400*400
Диапазон перемещений стола в горизонтальной плоскости, мм 360*360
Диапазон перемещений стола по вертикали, мм 340
Максимальная скорость перемещения стола по каждой координате, см/с 20
Точность позиционирования, мм 0,05
Нагрузочная способность стола, кг 200
Защита от ренгеновского излучения Наличие (максимальная энергия пучка 150 кэВ, 200мА)
Предельный вакуум, торр 10-6
Система поддержания давления (в рабочем диапазоне) в камере Наличие
Рабочее давление, торр от 10-5 до 10-2
Управление установкой С помощью спец. ПО
Интерфейс связи с установкой RS-232
Автоматизация откачной системы Наличие
Габаритный размер Ш*В*Д, мм 2500*3000*4000
Масса установки, кг не более 5 тонн
Охлаждение Водяное
Электропитание 3 фазы, 380 В±10%, 50 Гц±0,2%
Установленная мощность, кВт 15

 

 

Установка вакуумная для термического напыления материалов

Установка предназначена для предназначена для получения  металлических и органических покрытий методом термического испарения. 

Здесь используется собственная разработка - Низкотемпературный испаритель органических соединений. Имеет защищённый от прямого воздействия испаряемого материала нагреватель. Внутри размещается термопара, что позволяет контролировать температуру с точностью до 0,1 0С. Испаритель легко демонтируется и разбирается для обслуживания (чистка, замена нити и т.д.). Система крепления и позиционирования направленности распыления обеспечивает выставление положения источника по трем координатам с точностью до 0,5 мм. Тигель легко вставляется / извлекается благодаря специальному быстроразъёмному механизму с фиксатором. Из-за отсутствия прямого контакта тигля с высокотемпературной частью нагревателя отсутствует сплавление тигля с опорой и стенками испарителя. Мощность испарителя составляет 200 Вт. Объём загружаемого вещества до 2 см3. Предусмотрена возможность нагрева до 400 0С. 
 
Назначение:
  • отработка и модернизация технологий получения органических полупроводниковых структур;
  • создание новых термически и химически стабильных молекулярных материалов;
  • исследование условий процесса получения и свойств органических люминофоров и твердотельных активных излучающих сред (матриц);
  • исследование фото – и других процессов  в органических соединениях;
  • масочные технологии;
  • OLED-технологии и др.
Состав установки и устройство установки 

1. Вакуумная камера.

1.1 Дверь закрывается герметично при помощи эластичного уплотнения. Дверь оснащена регулируемым прижимом и крепёжными петлями, что позволяет уплотнению ровно и плотно прилегать к камере. Дверь оснащена вакуумным смотровым окном на фланце ISO 160. Окно снабжено сменным защитным стеклом. Возможен прогрев камеры ленточным нагревателем (поставляется в комплекте);

1.2 К патрубку ISO100 на задней стенке крепится пневматический затвор с сильфонным уплотнением штока, отсекающий турбомолекулярный насос от камеры;

1.3 Ко второму патрубку ISO100 на задней стенке подводится линия форвакуумной откачки, а так же располагается вакуумметр c диапазоном измеряемых давлений от атмосферы до 1∙10-9 торр. Так же к этому патрубку присоединяется напускной вентиль с фланцем KF25;

1.4 К верхнему фланцу ISO160 присоединяется вакуумный магнитный ввод вращения подложкодержателя VSE-MR-169. Рабочая скорость вращения 20 об/мин. Так же на этом фланце располагается вакуумное уплотнение для ТЭНа, рассчитанных на 0,8 кВт (макс. напряжение 90В). ТЭН предназначен для прогрева подложки. Рядом располагается термопарный ввод с присоединительным фланцем KF16 под термопару типа К;

1.5 Снизу камеры располагается фланцы, предназначенные для:
1.5.1 Ввода в вакуум кварцевого измерителя толщины покрытия фирмы Inficon. Предусмотрено водяное охлаждение прибора. Сигнал с измерителя толщины снимается с использованием контроллера STM-2; 
1.5.2 Термопарные и электрические вводы, рассчитанные на максимальный ток до 55 А. Присоединительный фланец KF16. Диапазон рабочих температур для ввода: от -25 до +205 0С. Используется термопара типа К. Со стороны вакуума к этому фланцу крепятся два термических испарителя органики собственной разработки VSE-OE-169. 
1.5.3 Двух пар электрических вводов для подключения двух нагревателей вольфрамовых лодочек. Рабочий диапазон температур для вводов от -25 до +205 0С, присоединительный фланец KF16. Вводы рассчитаны на максимальный ток до  300 А. Охлаждение производится при помощи вентиляторов. Рядом располагается термопарный ввод с присоединительным фланцем KF16 под термопару типа К для контроля температуры лодочки. Максимальная мощность лодочки 1200 Вт. Максимальная температура 1500 0С;
1.5.4 Снизу на камере расположены патрубки KF25, предназначенные для присоединения магнитных вводов линейного перемещения для управления заслонками VSE-SM-169. Заслонки расположены непосредственно над испарителями, по одной над каждым. Ввод управляется пневматически;
1.5.5 Подложкодержатель выполнен в виде алюминиевого диска диаметром 100 мм на быстросъемном соединении;
1.5.6 Внутри камеры расположены съемные экраны из зеркальной нержавеющей стали, защищающие стенки камеры от запыления;
 
2. Форвакуумный насос – Scroll Meister («Anest Iwata» , безмасляный,спиральный, скорость откачки – 250л/мин, выходной фланец – KF25); 
3. Высоковакуумный насос – nEXT 240 («Edwards», турбомолекулярный, производительность по азоту – 240 л/сек); 
4. Датчик измерения давления форвакуумный (тип Пирани). Диапазон измеряемых давлений от атмосферы до 10-2 Торр; 
5. Система пневматических клапанов и трубок
6. Подставка со съёмными боковыми панелями
7. Блок управления. Управление производится через компьютер.
 
 

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Поля, отмеченные * — обязательны для заполнения.