Технические характеристики

Диаметр мишеней

50, 75 или 100
Предельный вакуум в камере 5*10-8 Торр
Толщина мишеней от 3 мм до 6.5 мм
Рабочее давление от 0,5 до 70 mТорр
Мощность распыления номинальная не менее 170 Вт для RF режима и не менее 350 Вт для DC режима
Магнитная сборка SmCo или NdFeB магниты в защитной оболочке для предотвращения коррозии
Материал корпуса Нержавеющая сталь AISI 304
Максимальная температура длительной работы магнетрона с охлаждением только области распыления 140 °С
Максимальная температура прогрева магнетрона с охлаждением корпуса и области распыления (опционально) 450 °С
Рабочая частотв в ВЧ режиме 13,56 МГц 
Узел для изменения угла направленности распыления (опционально) Наличие 
Монтажный фланец для установки магнетрона (опционально) Наличие
Возможность регулирования высоты расположения магнетрона в вакууме Наличие
Возможность установки газового кольца Наличие
Косвенное водяное охлаждение мишени Наличие

 

 

Магнетроны

Компания производит круглые планарные магнетроны с косвенным охлаждением мишени для систем напыления металлических и диэлектрических покрытий, в том числе для напыления магнитных материалов. Конструкция магнетронов позволяет их использовать в установках с высоким предельным вакуумом.

Основные преимущества наших магнетронов:

  • Специальная конструкция магнетрона дает возможность работы с ВЧ источником питания, что позволяет производить напыление с использованием диэлектрической мишени без добавления реактивных газов.
  • Косвенное охлаждение мишени разрешает использование хрупких при нагреве материалов, что исключает попадания охлаждающей жидкости в камеру в случае возникновения трещин и разрешения мишени. При этом специальная технология сборки магнетрона – вакуумная пайка, дает преимущества в чистоте и предельно допустимом рабочем вакууме.
  • Возможность регулировок по высоте и тонкой регулировке по углу наклона магнетрона, что дает дополнительные возможности при получении высокой равномерности покрытий.
  • Прижим мишени осуществляется особым образом, что допускает использование не только стандартных мишеней, но и мишеней с повышенной или пониженной толщиной, что дает больше гибкости в выборе материалов для напыления.
  • Наличие газового кольца для подачи рабочего газа непосредственно в область разряда увеличивает стабильность разряда и повторяемость процессов, что положительно сказывается на качестве итоговых покрытий.
  • Использования магнитных сборок из специальных сплавов SmCo (Самарий-Кобальт) и неодим-железо-бор (NdFeB) дает высокую производительность распыления материалов и возможность напыления магнитных материалов, как железо, кобальт и никель и др. Для работы при повышенных окружающих температурах (например, при прогреве подложек до 8000С или прогреве камеры) компания предлагает магнетроны с дополнительно охлаждаемым корпусом.

 

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Поля, отмеченные * — обязательны для заполнения.